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新一代远程尘埃颗粒传感器APS3
材料来源:SMT MAGAZINE           录入时间:2018/2/7 0:07:15

免责声明: 以下译文仅作参考,不承担任何法律责任!若厂商对以下译文存有疑虑,请直接联系网络编辑,我们将酌情修正!

SMT CHINA编译报道:Cyber​​Optics宣布将在首尔SEMICON展示新一代300mm远程尘埃颗粒传感器(Airborne Particle Sensor,APS3)技术。这种WaferSense APS3可通过实时无线检测,识别和监测空气中的微粒,有助于加快半导体工厂的设备设置并提高长期收益率。WaferSense APS3已被证明是一种广为人知的方法(BKM),与传统的晶圆表面扫描法相比,已被证实可节省时间高达90%、节省成本95%,以及高达20倍的产量。

APS3测量设备更轻薄,可轻松地穿过半导体工具,同时提供业界领先的精度和灵敏度,已被全球的设备和工艺工程师所重视。APS3解决方案整合了ParticleSpectrum软件,该软件拥有一个全新的具有触摸功能的界面,用户友好,可实时读取、记录和反复检查从小到大的气体颗粒数据并使之变得更加简单。

Cyber​​Optics总裁兼首席执行官Subodh Kulkarni博士表示,全球半导体工厂和设备OEM厂商都依靠我们经过验证的WaferSense APS3技术来显著提高产量。现在设备变得更薄更轻,并将其与ParticleSpectrum软件包结合在一起,这个软件包肯定会因为简化了工程师的工作而感到高兴。

在展会期间Cyber​​Optics还将推出一款专为平板显示器(FPD)市场设计的新型APS3传感器。


WaferSense和ReticleSense产品线

WaferSense测量产品包括自动调平系统(ALS)、自动凝视系统(AGS)、自动振动系统(AVS)、自动教学系统(ATS),APS3和新型自动多传感器(AMS) ,这些将根据不同尺寸晶圆提供相应货源,包括150mm,200mm和300mm。ReticleSense测量产品包括机载粒子传感器(APSR和APSRQ)、自动调平系统(ALSR)和自动多传感器(AMSR)。(SMTC@ACT)

About CyberOptics

CyberOptics Corporation is a leading global developer and manufacturer of high precision sensing technology solutions. CyberOptics sensors are being used in general purpose metrology and 3D scanning, surface mount technology (SMT) and semiconductor markets to significantly improve yields and productivity. By leveraging its leading edge technologies, the company has strategically established itself as a global leader in high precision 3D sensors, allowing CyberOptics to further increase its penetration of its key vertical segments. Headquartered in Minneapolis, Minnesota, CyberOptics conducts worldwide operations through its facilities in North America, Asia and Europe. For more information about the entire line of CyberOptics solutions please click here.


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