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产品特写
Nordson DAGE 发布 4800 Integra™ 全自动晶圆焊接强度测试仪
录入时间:2018/12/18 12:18:36
4800 Integra™ 全自动晶圆焊接强度测试仪
4800 Integra™
 
Nordson DAGE的4800 Integra™ 为全自动晶圆焊接强度测试提供完整的解决方案。整个系统由工厂配置并由一台PC控制。
*几乎无需操作员介入测试
该系统完全由Paragon 软件进行控制,经过编程后,无需操作员介入即可自动执行测试的所有部分。
*全面的SECS/GEM集成
系统直接连接到网络以允许全面的的SECS/GEM操作。当与FOUP加载系统结合使用时,测试、分析和结果可以完全自动化。
*与无尘室兼容
可选风扇过滤装置和前门可加入离子去除装置,实现无尘室操作。
*自动晶圆矫正器
晶圆矫正器确保在测试之前可将翘曲的晶圆自动夹紧到真空吸盘上。
*风扇过滤器
4800 Integra可安装风扇过滤器和封闭门。这样可以保持系统内部的正压力,并将碎屑排出测试区域。
*互锁选件
可以安装光幕或互锁门,以保护操作者免受测试区域的伤害。系统将在光幕或互锁门被损坏或被打开
时暂停当前的测试,并在障碍物消除后重新启动。
*CCD摄像头监控
可选的CCD摄像头可以安装在晶圆处理机上,也可以安装在4800 Integra内部。允许对测试过程进行监控和记录。

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